發(fā)布時間:2022-08-27 人氣: 來源:1
HBM傳感器把外界不同的物理量、化學(xué)量和生物量變換成容易處理的電量并輸出。HBM傳感器的構(gòu)成形式有多種,有在變換中不需要加入能量的無源變換和需要加入能量的有源變換,其基本形式如圖1-1所示,共分為七種。圖1-1(a)是傳感器最基本的構(gòu)成形式,是僅有傳感元件的最簡單的一種,這種形式稱為P型,如熱電偶可直接把被測熱源變成電量,壓電元件可把壓力變成電荷。圖1-1(b)是使用電源等動力源對傳感器進(jìn)行激勵,從而得到輸出信號,這種形式稱為A型傳感器,如話筒中駐極體可把聲音變成電量,差動變壓器可把位移變成電量,它們都需要電源激勵。有時采用磁鐵作為輔助能源,將這種傳感器稱為B型傳感器圖1-1(c),如磁電式轉(zhuǎn)速傳感器。圖1-1(d)中傳感元件隨輸入的信號而改變本身的阻抗特性,不加以改造是得不到輸出信號的,必須設(shè)計包括傳感元件在內(nèi)的變換回路,并將動力源提高能源才能得到輸出信號,這種形式稱作 C型HBM傳感器,如熱敏電阻測量溫度需把熱敏電阻設(shè)計成橋路檢測。

在大多數(shù)情況下,HBM傳感器特性受周圍環(huán)境的影響,在這些影響不能忽略時,必須采取措施以消除這些影響。 圖1-1(e)、(f)、(g)是一些有效的組成方法。在圖1-1(e)中,使用兩個原理和特性完全一樣的傳感元件,其中一個接受輸入信號,另一個不接受輸入信號,兩個傳感元件對環(huán)境的特性變化是不同的。虛設(shè)一個傳感元件的目的在于抵消環(huán)境條件對接受輸入信號的傳感元件的影響。這種形式稱為 D 型傳感器,大多需要動力源。如雙延遲線的聲表面波(SA W)傳感器,兩條延遲線特性完全一樣,一條作為接受被測量的傳感器,另一條作為溫度環(huán)境的補(bǔ)償,從而消除測量中的溫度影響。在圖1-1(f)中將輸入信號都加到在原理和特性完全一樣的兩個傳感器上,在變換回路中,使傳感元件的參數(shù)對輸入信號進(jìn)行反相變換,而對環(huán)境條件變化進(jìn)行同相變換,從而抵消環(huán)境變化帶來的影響,又增加了測量靈敏度,這種形式稱為 E 型傳感器,如應(yīng)變?nèi)珮螂娐窚y量力和應(yīng)變。圖1-1(g)中也使用兩個傳感元件,對其中一個傳感元件加入輸入信號,并預(yù)先了解環(huán)境條件對它的影響,對另一個傳感元件則加上能抵消環(huán)境對前者影響的補(bǔ)償信號,這種形式稱為 F 型HBM傳感器,如 pH 電極中用熱敏電阻測溫元件來補(bǔ)償 pH 測量中的溫度影響。此外還有一些混合型的,如利用霍爾效應(yīng)制成的傳感器,內(nèi)部有功率源和輔助源 , 可以看成是B型和A型或B型和C型的混合。
在大多數(shù)情況下,傳感器的輸出為電量,但要把一些外界信息直接變換成為電量是很不容易的,常要采取兩級或兩級以上的變化,這就增加了傳感器涉及的自由度以適應(yīng)各種條件。容易變換成電量的量有位移、光、熱 (溫度)等。由于位移測量用途很廣,因此人們早就對位移傳感器進(jìn)行了各種研究,包括接觸式和非接觸式。光電器件和熱電偶等也較為成熟,因此常常用作中間變換量。表1-1列舉了利用位移、光、熱等傳感器所能測量的物理量。

其實,僅由一個傳感元件構(gòu)成的傳感器是少有的,通常是把具有不同性能的傳感元件結(jié)合起來構(gòu)成HBM傳感器。另外,被測量的種類很多,測量條件也是各種各樣的,所以有的被測量用現(xiàn)有的傳感元件不能直接檢測,或雖然能檢測,但由于經(jīng)濟(jì)條件或其他原因,實際檢測比較困難。為此,在多數(shù)情況下采取的方法是先把被測量變換為其他物理量,再選用能把這個物理量進(jìn)行變換的傳感元件進(jìn)行再變換。例如,壓力傳感器,雖然有壓電元件能把壓力直接變換為電壓信號,但是由于絕緣電阻有限,在測量穩(wěn)態(tài)或接近穩(wěn)態(tài)的緩慢變化壓力時,必須用到電荷放大器,而電荷放大器存在工作穩(wěn)定性和信噪比等問題使變換較困難。往往選用彈性膜片先把壓力變換為膜片位移,然后再用位移傳感元件獲得輸出信號,也就是通過壓力到彈性位移再到電量的兩級變換來進(jìn)行壓力測量,從廣義上講彈性膜片也是一種傳感元件。這種起中間作用的變換元件叫作一次變換元件。
為了了解一次變換元件的有關(guān)性能,比較方便的辦法是把可能進(jìn)行變換的量與一次變換元件能輸出的量和不能輸出的量進(jìn)行分類。表1-2 就是這種分類方法的一個例子。在表1-2中,縱向和橫向分別按順序列出各種被測量,兩個量交叉的地方用類似矩陣元素 i j 來表示。如量 i 能變換為量j,則用“△”來表示;多數(shù)變換元件都能進(jìn)行變換的用“◎”來表示;在原理上根本不可能進(jìn)行變換的用“×”來表示 ;變換雖然可能,但目前該變換元件尚未開發(fā)出來的,用空白表示。


如果要測定某個量i,想得到 j 作為輸出,那么首先在這個表中找到 i j 所在的位置,如果在這個位置上有“◎”或“△”記號,那么就可具體地研究變換方法。如果這種方法適用于所需的測定范圍、測定精度及其他各種要求 ,那么就可以采用這種變換方法了 。 在找著 “ ◎ ” 或 “ △ ” 記號的地方以后,把該位置相對應(yīng)的量作一次變換。假設(shè)此時的組合為 i j,那么把量 j 作為輸入,具體地研究量 j 是否能變換為量 j 。如果 j j 所在位置有“◎”或“△”記號,那么就可以探討是否可以采用 i—j—j 的變換組合。從 i 到 j 的變換中間所需的過渡變換量的自由度不一定限于一個,所以可以按照不同的情況、不同的應(yīng)用目的去選擇最適合的方式。
i—i 這對組合表示擴(kuò)大、縮小或放大的元件,擴(kuò)大與縮小是無源的,放大為有源的。因此根據(jù)不同的情況,這對組合不一定是單純的元件而是一種復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。表1-2雖然沒有具體闡述變換方法,但作為構(gòu)成傳感器的一種考慮還是有益的。表1-2中還反映出傳感器領(lǐng)域中的空白還是很多的,急需我們?nèi)パ芯亢烷_發(fā)。
★ 德國HBM:稱重傳感器-- Z6F,C16I,C16A,RTN,HLCB1, PW2D, PW6D,PW2C,PW6K,PW6C,PW10A,PW12C,PW16A,PW22,S40A,C2等系列
★ 德國HBM:扭矩/力傳感器 -- T40B,T22,T5,U9C,C9C,S9M,U2B,S2M等系列
★ 德國HBM:稱重儀表/變送器 -- WE2111,RM4220, BM40,AE101, AE301,EM201等系列
★ 美國世銓celtron:傳感器 -- STC,HBB,LPS,LOC,PSD,LCD,MBB,SQB等系列
★ 特迪亞Tedea-huntleigh: --3410,616,355,1015,1040,1022,1260,120,1241,240等系列
★ 美國傳力Transcell :傳感器-- BSS,BSH,DBSL,SBST,CR,SBS,BAB等系列
★ 梅特勒托利多:稱重傳感器-- TSC,TSB,MTB,GD,SLB415,SLB215,MT1022,MT1260,MT1241,SB,SBS,SBH等系列
★ METTLER TOLEDO:數(shù)字傳感器—GDD,SLC720,0760,PDX,SLC820等系列
★ 梅特勒托利多:控制儀表 -- IND331,IND245,IND320L,IND230,IND560,B520,IND110,WM0800,AJB等系列
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